在金属材料化学分析发展史中，电感耦合等离子体光谱法和质谱法在近几十年得到广泛应用，是在物理学研究到原子核阶段以后相继出现的。

1.电感耦合等离子原子发射光谱仪（ICP）是一种新型的原子发射光谱法，工作原理为待测物质被环状高温等离子体光源加热至6000–8000K，待测物质原子产生电子跃迁，从而辐射出特征谱线进行元素含量测定。ICP根据进样系统的不同又分为固体进样、液体进样和气体进样三类。ICP要比直读光谱仪器的检出限更低，灵敏度高。缺点：对进样系统要求非常严格，无法分析部分难溶和非金属元素。溶液进样系统要将试样做成溶液样品，此过程要用酸碱溶样，用时较长。

2.电感耦合等离子体质谱法是在电感耦合等离子体发射光谱仪的基础上发展起来的一种较灵敏的元素分析方法。相比于电感耦合等离子体发射光谱仪，增加了一个四极质谱仪，质谱仪分离不同质荷比的激发离子，最后测量各种离子谱峰强度的一种分析方法。

电感耦合等离子体质谱仪主要用于测定金属材料中的微量元素。优点为操作简单、测试周期短、灵敏度高。缺点实际检测成本高制约其广泛使用，目前主要用于地质学中金属矿石微量、痕量和超痕量的金属元素测定。