- [检测百科]分享：N掺杂对磁控溅射Ta涂层微观结构与耐磨损性能的影响2025年03月04日 13:12
- 采用磁控溅射技术，以AISI304不锈钢为基体，通过在溅射过程中引入不同流量的N2，制备出不同程度N掺杂的Ta涂层，研究了少量N掺杂对Ta涂层微观结构、物相组成、力学及磨损性能的影响
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